[实用新型]一种用于测定氯硅烷中水分的装置有效
| 申请号： | 202121913079.9 | 申请日： | 2021-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN215768232U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 侯海波;张习松 | 申请（专利权）人： | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3577 | 分类号： | G01N21/3577;G01N21/01 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 潘涛 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于测定氯硅烷中水分的装置，属于多晶硅生产技术领域，包括样品池体，样品池体上端设有样品加入口，样品池体左右两端设有透光片，样品池体外壁设有保护气进入口和保护气排出口，保护气进入口与保护气进气管相连，保护气排出口与保护气排出管相连。使用前先用保护气将样品池体充满，随用将氯硅烷样品放入样品池体内，使用红外在透光片处检测氯硅烷样品中的水分，检测完毕后将氯硅烷样品倒出后，用保护气置换。本实用新型能准确测定氯硅烷中水分，且操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测定 硅烷 水分 装置 | ||
【主权项】：
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