[实用新型]一种光刻胶涂覆装置有效
| 申请号： | 202121914524.3 | 申请日： | 2021-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN215986894U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 李永斌 | 申请（专利权）人： | 甘肃华隆芯材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 张开 |
| 地址： | 730999 甘肃省白银市白银区兰包路33*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光刻胶涂覆装置，涉及光刻胶覆涂领域。所述光刻胶涂覆装置包括：工作台，所述工作台的下端外表面连接有注胶筒；具有吸附固定功能的旋转机构，具有吸附固定功能的所述旋转机构与工作台连接，具有吸附固定功能的所述旋转机构包括转动轴杆，所述工作台的上端外表面转动连接有转动轴杆，所述转动轴杆的上端通过转盘固定连接有吸盘，转盘的下端外表面固定连接有橡胶包圈，所述吸盘的外表面固定连接有与其连通的安装筒，安装筒开设有内螺纹，安装筒内螺纹杆的一端固定连接有活塞，所述安装筒的外表面开设有两个对称设置的出气孔。本实用新型提供的光刻胶涂覆装置具有快速排气方便拿取加工材料的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶涂覆 装置 | ||
【主权项】：
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