[实用新型]一种防止真空管道倒流的真空管路系统有效
| 申请号： | 202121946209.9 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN216131050U | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 项健;方刚;赵德静;李品鑫;张丹 | 申请（专利权）人： | 合肥亚笙半导体设备科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/12;F04B39/16;F04B39/00;F04B39/10;F04B49/06 |
| 代理公司： | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人： | 孟祥龙 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空管路技术领域，具体为一种防止真空管道倒流的真空管路系统。包括制程反应腔、第一管路、主泵、第二管路和废气处理设备，第一管路靠近制程反应腔位置安装有真空阀组，真空阀组通过导线与主泵电性连接，真空阀组还通过导线连接有报警器。在原有真空系统中加装实时响应的真空阀组，此时若主泵因为各种问题停机时，停机信号会及时反馈给真空阀组，真空阀组第一时间关闭，阻断制程腔与下游段的真空管路系统，其次信号会反馈到报警器，告知现场人员情况并及时处理，从而延长真空系统的运行寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 真空 管道 倒流 管路 系统 | ||
【主权项】：
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