[实用新型]一种具备组合加热真空管道的真空管路系统有效
| 申请号： | 202121946259.7 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN216131051U | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 项健;王虎成;王锐;张丹;李品鑫 | 申请（专利权）人： | 合肥亚笙半导体设备科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/12;F04B39/06;F04B39/00 |
| 代理公司： | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人： | 孟祥龙 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空管路系统技术领域，具体为一种具备组合加热真空管道的真空管路系统。包括包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备，第一管路和第二管路外壁位置包覆有加热套件。在原有真空系统中改造加装真空系统加热套件会加热流经管路的气体，再借助泵的抽吸动作，可以减少粉尘在管路凝结堵死的概率，延长真空系统的运行寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具备 组合 加热 真空 管道 管路 系统 | ||
【主权项】：
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