[实用新型]铬版清洗工具有效
申请号: | 202121959618.2 | 申请日: | 2021-08-19 |
公开(公告)号: | CN215466500U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 吕振群;林伟 | 申请(专利权)人: | 成都路维光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B3/08;B08B1/00;B08B13/00 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 唐邦英 |
地址: | 610000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了铬版清洗工具,包括底座,所述底座的上端面设置有支撑柱,所述底座的上端面在远离支撑柱的一侧设置有用于放置铬版的卡槽。通过本实用新型所述清洗工具,改进光罩的清洗方式,使原有液体浸泡擦洗法清洗效果不佳,或无法清洗TFT等高端产品的状况得到彻底改变,并且能很好的提升光罩的清洗效率;不仅脏点清除明显,1um以上的脏污均可清洗干净,符合TFT贴膜清洗要求,且不需另外购置昂贵的超声波设备,本工具制作成本仅数百元,为企业节约了大量成本。 | ||
搜索关键词: | 清洗 工具 | ||
【主权项】:
暂无信息
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