[实用新型]基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统

摘要

本实用新型公开了一种基于双路全投射光的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；采集单元的输出端连接处理单元的输入端，处理单元的输出端连接存储单元，控制单元分别与成像单元、采集单元、处理单元相互连接；所述成像单元用于产生P偏振光进行均匀照明，包括上表面成像单元、下表面成像单元，分别位于透明薄膜的上表面和下表面，以同一布儒斯特角将P偏振光分别入射到透明薄膜的上下表面实现双路全透射；所述采集单元包括载物台、两组线阵相机，两组线阵相机分别位于透明薄膜的上表面和下表面，分别接收经透明薄膜下、上表面透射出的光线进行成像。本实用新型实现了透明薄膜的上下表面及内部均匀性检测。