[实用新型]一种晶圆外观检测设备有效
| 申请号： | 202121991248.0 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN215866440U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 肖治祥;许锐;朱涛;饶兴 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;G01B11/00 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 李佑宏 |
| 地址： | 215124 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆外观检测设备，属于晶圆检测技术领域，其通过料盒、取料工位、校准工位、检测工位和检测组件的对应设置，能快速实现待测晶圆的存放、取料、校准和检测，利用待测晶圆取料后、检测前的校准作业，可以有效保证晶圆外观检测的准确性，提升晶圆检测的效率。本实用新型的晶圆外观检测设备，其结构简单，设置简便，能准确实现晶圆产品的快速取放料和检测作业，提升晶圆产品检测的精度和效率，降低晶圆产品的检测成本和应用成本，具有较好的实用价值和应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外观 检测 设备 | ||
【主权项】：
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