[实用新型]一种晶圆传送用机械臂

摘要

本实用新型公开了一种晶圆传送用机械臂，涉及晶圆传送技术领域，针对现有的部分晶圆传送用机械臂缺乏保护装置，晶圆在运输过程中易滑动脱落摔损，造成不必要损失的问题，现提出如下方案，其包括基座，所述基座顶部转动设置有旋盘，所述基座的内部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴贯穿延伸至基座外部并与旋盘固定相连，所述旋盘的顶部固定设置有立柱，所述立柱的内部开设有空腔，所述空腔的内部转动设置有呈竖直设置的螺杆，所述立柱的顶部固定设置有第二电机。本实用新型结构新颖，不仅实现了对晶圆在传送过程中的有效保护，且便于对多工位的晶圆进行拿取和传动，提高了实用性，适宜推广。