[实用新型]一种ALD淀积系统

摘要

本实用新型涉及ALD淀积技术领域，尤其为一种ALD淀积系统，包括壳体和连接管，所述壳体的下方固定连接有支撑脚，且壳体的内部开设有螺纹槽，所述连接管位于螺纹槽的内部，且连接管的上方固定连接有连接盘，所述连接盘的上方固定连接有密封垫，所述连接管的下方水平安设有固定管，且固定管的下方固定连接有第一通道，所述第一通道的下方水平安设有安装罩，且安装罩的内部活动连接有过滤网，所述安装罩的下方固定连接有第二通道，且第二通道的下方水平安设有脉冲室，该装置能够对气相物质进行过滤，对气相物质中的杂质进行处理，从而保证其沉积的效果，同时该装置结构简单，便于使用者对其内部进行清洁与更换，从而提高装置的使用寿命。