[实用新型]一种自动化半导体纳米电热膜除膜机有效
| 申请号： | 202122030948.X | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN215846353U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 罗浩;杨小华;蔡建财 | 申请（专利权）人： | 福建晶烯新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/70;B23K26/142;B23K26/08 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 谢秀娟 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩市新*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种自动化半导体纳米电热膜除膜机。本实用新型采用光纤激光器输出激光，再经高速扫描振镜系统实现激光除膜功能，对半导体纳米电热膜发热片的电热膜除膜效率高且精度较高，具有较高可靠性且可以精准控制除膜时的深度、光滑度、精细度。而激光打标头采用光线激光器具有较高的光电转换效率，通过自然风冷方式，整体能耗低，运行稳定可满足工业生产环境，整机体积较小，能耗低，加工效率高且加工效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 半导体 纳米 电热 | ||
【主权项】：
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