[实用新型]一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子刻蚀机的电极屏蔽装置，涉及电极屏蔽技术领域，针对现有的电极屏蔽装置装卸过程太过复杂，不便于技术人员的检测和维修，导致工作效率低的问题，现提出如下方案，其包括电极柱本体、屏蔽护板和第一立柱，所述电极柱本体的圆周侧壁套设有两个结构相同的屏蔽护板，所述屏蔽护板的侧壁固定安装有两个结构相同的第一立柱，所述屏蔽护板的侧壁固定安装有两个结构相同的第二立柱，所述屏蔽护板相互远离的一侧滑动安装有两个结构相同的插销。本实用新型结构新颖，该装置不仅实现了对屏蔽护板进行固定安装的效果，完成对电极柱本体的辐射进行屏蔽，而且达到了对电极柱本体进行保护的目的，适宜推广。