[实用新型]一种插片机前段水箱用上料装置有效

专利信息
申请号: 202122058984.7 申请日: 2021-08-30
公开(公告)号: CN216084824U 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 潘文杰;吕健;徐雪 申请(专利权)人: 无锡中环应用材料有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208 代理人: 周舟
地址: 214200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种插片机前段水箱用上料装置,涉及硅片生产设备领域,包括水平推动组件和升降组件,水平推动组件和升降组件均安装于顶部开口的水箱上,水平推动组件包括水平布置于水箱侧壁上沿的无杆气缸,导轨一端接近升降组件,一方板水平布置且贴近水箱底部,方板通过竖板与气缸本体固定连接,方板上端面搁置有弹夹;升降组件包括竖直布置在导轨末端外水箱侧壁上沿的滑轨,背向水箱的滑轨一侧平行布置有丝杆,水箱外侧固定有驱动丝杆转动的驱动电机,一滑块位于丝杆和滑轨上,并可沿着滑轨上下移动,水箱内一水平布置的托板通过支杆与滑块固定连接。本实用新型中无杆气缸的水平运动与丝杆上下传动的配合,实现了硅片的自动上料。
搜索关键词: 一种 插片机 前段 水箱 用上 装置
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