[实用新型]柔性共振型光学芯片及应用该芯片的传感器

摘要

本实用新型公开的柔性共振型光学芯片和应用该芯片的传感器，包括承载件，为柔性基底，使用柔性光透明聚合物材料；低折射率缓冲层，形成于所述承载件一表面。本实用新型还公开了一种应用柔性共振型光学芯片的传感器。由于本实用新型采用柔性聚合物材料代替了以往一直采用的玻璃、硅等刚性衬底，其机械柔韧性大幅提升，不易破损，且实验测试表明，其光学特性未受其衬底材料改变的影响。本实用新型的柔性共振型芯片，可以应用于棱镜耦合、光栅耦合、光波导耦合等多种模式下，灵活性高，适用性强。