[实用新型]一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统有效
申请号: | 202122094695.2 | 申请日: | 2021-09-01 |
公开(公告)号: | CN216160803U | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 耿怀银;李胜;曹祥;赖文炽;孙跃 | 申请(专利权)人: | 新疆协鑫新能源材料科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/52 | 分类号: | G01R31/52;C01B33/035 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 肖明芳 |
地址: | 831100 新疆维吾尔自治区昌吉回*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统,对现有多晶硅还原炉,高压启动过程中接地打火造成电极绝缘套击穿损坏问题,改变高压时系统接地方式,降低高压系统对地电压,从而避免电极打火,提高还原炉启炉成功率。对还原炉运行后期接地电流检测无法准确反应炉内接地情况,通过增加电极电压测量比较功能,保障还原炉安全稳定运行。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 高压 接地 检测 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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