[实用新型]一种真空镀膜设备用抽真空装置有效
| 申请号： | 202122094967.9 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN216155959U | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 杨林生 | 申请（专利权）人： | 合肥聚盛真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;F16F15/067 |
| 代理公司： | 合肥三川专利代理事务所(普通合伙) 34150 | 代理人： | 潘光亮 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备用抽真空装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括真空泵本体，还包括：固定组件，所述固定组件安装在真空泵本体外侧，用于对真空泵本体进行固定，以及减震组件，所述减震组件包括竖向缓冲机构以及横向缓冲机构，所述竖向缓冲机构包括缓冲板，所述缓冲板表面相对布置两组缓冲杆，所述缓冲杆安装在真空泵本体两侧，缓冲杆外侧设置缓冲弹簧，缓冲弹簧在竖直方向对真空泵本体进行减震处理，所述伸缩套筒与伸缩弹簧配合在水平方向对真空泵本体进行减震处理，进而对真空泵本体进行全方位减震处理，有效避免在长时间的振动的过程中真空泵本体内部结构损坏，通过对真空泵体进行保护，有效延长了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 备用 真空 装置 | ||
【主权项】：
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