[实用新型]一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备有效
申请号: | 202122097982.9 | 申请日: | 2021-09-01 |
公开(公告)号: | CN216011676U | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 张庆明 | 申请(专利权)人: | 全洋(黄石)材料科技有限公司 |
主分类号: | F27B5/05 | 分类号: | F27B5/05;F27B5/14;F27B5/06;F27D9/00;B08B7/00 |
代理公司: | 湖北天领艾匹律师事务所 42252 | 代理人: | 余枭 |
地址: | 435000 湖北省黄*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备,属于坩埚烤箱设备技术领域,其包括烤箱本体,所述烤箱本体的左侧面通过销轴设置有转动壳,所述转动壳设置在烤箱本体的背面,所述转动壳的背面卡接有冷却风扇,所述烤箱本体的正面设置有低温泵,所述烤箱本体的左侧面设置有导管。该精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备,通过设置发热体、加热壳、隔热层、冷却风机和低温泵,当该烤箱抽真空后,使得空气中的水分不易附着在坩埚内部,控制发热体和低温泵工作,坩埚表面杂质蒸发时产生的蒸气在低温泵的作用下从加热壳和内壳内抽出,该烤箱设备可对坩埚表面的水分和杂质进行清理,使得坩埚生产出产品的质量不易因水分和杂质而造成影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 精密 amoled 蒸发 坩埚 烤箱 设备 | ||
【主权项】:
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