[实用新型]三氯氢硅合成炉换热装置有效
申请号: | 202122101678.7 | 申请日: | 2021-09-02 |
公开(公告)号: | CN215598088U | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | 万柏峰;孙亮;张文博;武红盼;李文娟 | 申请(专利权)人: | 唐山三孚硅业股份有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D9/00;F27D17/00;F27D21/00;C01B33/107 |
代理公司: | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人: | 张皓清 |
地址: | 063305 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了化工换热设备技术领域的一种三氯氢硅合成炉换热装置。该三氯氢硅合成炉换热装置采用分体式设计,包括冷却水供水单元,与冷却水供水机构连接的蒸汽回收单元,与三氯氢硅合成炉筒体连接的密封连接单元,对三氯氢硅合成炉换热装置进行压力检测的压力检测单元以及对三氯氢硅合成炉换热装置内混合气体输送的流出输送单元。该三氯氢硅合成炉换热装置设计合理,实用性能高,提高了合成炉控制过程中温度的控制精度,提高了三氯氢硅合成反应的收率,减少了合成炉换热管的磨损,大大提高了换热管的使用时长,并使合成炉换热装置的维修大大简便,保障了安全生产、提高了产品质量。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 合成 炉换热 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于唐山三孚硅业股份有限公司,未经唐山三孚硅业股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202122101678.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。