[实用新型]一种用于碳化硅晶片的检测装置有效
| 申请号： | 202122102247.2 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN215599041U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 申雪珍;邹宇;张平 | 申请（专利权）人： | 江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆英静 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于碳化硅晶片的检测装置。该用于碳化硅晶片的检测装置包括支撑架；设置于支撑架上的晶片支撑组件，晶片支撑组件包括托板和支撑台，托板上设有第一透光孔、晶片支撑台阶和避让槽，晶片支撑台阶沿第一透光孔的圆周开设，并且晶片支撑台阶能够与碳化硅晶片的外圆周相配合；以及用于检测碳化硅晶片的目镜。由于晶片支撑台阶沿第一透光孔的圆周开设，晶片支撑台阶能够与碳化硅晶片的外圆周相配合，因此，晶片支撑台阶能对碳化硅晶片进行定位，限制碳化硅晶片的移动，减少碳化硅晶片的污染和损伤，同时，第一透光孔的设计减少了碳化硅晶片与托板的接触面积，使得碳化硅晶片与托板之间的摩擦减小，进一步减少了污染和损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 晶片 检测 装置 | ||
【主权项】：
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