[实用新型]三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置有效

专利信息
申请号: 202122102584.1 申请日: 2021-09-02
公开(公告)号: CN215598604U 公开(公告)日: 2022-01-21
发明(设计)人: 吴仔亮;冉兵;敬立新;陈元;刘跃;王宝仓;王小超;王礼;王小宁;甄治宪 申请(专利权)人: 唐山三孚硅业股份有限公司
主分类号: G01L13/00 分类号: G01L13/00;G01L19/00;C01B33/107
代理公司: 唐山永和专利商标事务所 13103 代理人: 张皓清
地址: 063305 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置,涉及三氯氢硅合成炉差压变送器吹扫技术领域。三氯氢硅合成炉差压变送器自动吹扫装置,包括三氯氢硅合成炉、差压变送器、电磁阀、过滤减压阀和氮气管,差压变送器通过正压引压管和负压引压管与三氯氢硅合成炉相连,正压引压管和负压引压管上分别通过管路连接一电磁阀,两个电磁阀的另一端口与过滤减压阀相连,过滤减压阀设置在氮气管上;电磁阀的电磁线圈与DCS控制系统电连接。本装置解决了负压侧引压管堵塞问题,保证了测量的准确性、稳定性,节约维护成本,提高工作效率,同时可进行手动单管或者双管吹扫来检测管路是否畅通,减少了人力物力。
搜索关键词: 三氯氢硅 合成 炉差压 变送器 自动 装置
【主权项】:
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