[实用新型]一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置

摘要

本实用新型涉及超纯气体处理设备的技术领域，特别是涉及一种超纯气体纯化装置中吸附筒出口高精度过滤装置，包括净化桶，所述净化桶内竖向设置有滤筒，所述滤筒内竖向安装有第一导气管，所述第一导气管底部穿过所述滤筒底部和所述净化桶底部并伸出，所述滤筒与所述第一导气管固定连接，所述第一导气管的外壁上均匀连通设置有多个扁平状散气通道，所述扁平状散气通道的外端穿过所述滤筒并伸入至所述净化桶内；通过对空气进行离心分离过滤处理，可实现空气中杂质的自动分离的目的，避免杂质对设备造成堵塞，保证设备长时间稳定运行，提高实用性。