[实用新型]一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构有效
| 申请号： | 202122136508.2 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215742833U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 陶永贵 | 申请（专利权）人： | 苏州咏昕恒能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78 |
| 代理公司： | 六安市新图匠心专利代理事务所(普通合伙) 34139 | 代理人： | 陈斌 |
| 地址： | 215228 江苏省苏州市吴江区盛泽镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于氦气回收技术领域，尤其是一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，针对背景技术提出的需要净化有毒气体的问题，现提出以下方案，包括第一净化器，所述第一净化器一侧设置有温控组件，且温控组件包括设置于第一净化器一侧的加热箱、通过导线连接于加热箱一端外壁上分控开关、通过导线连接于分控开关一侧外壁上的等距离分布的加热器。本实用新型通过温控组件中的加热器调节温度，可调节出毒气反应时的最适应温度，加快了毒气第一净化器、第二净化器和第三净化器中的液体发生反应速度，提高了反应的效率，净化后的氦气通过海绵、氯化钙干燥剂和活性炭的相互配合，能够吸收掉氦气中的水分，保证了氦气的纯净。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 行业 氦气 回收 有毒气体 净化 机构 | ||
【主权项】：
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