[实用新型]一种具有弹性缓冲结构的掩膜版有效
| 申请号： | 202122140393.4 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215481218U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张明华;黄国章;张明国 | 申请（专利权）人： | 福州金珂光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 重庆上义众和专利代理事务所(普通合伙) 50225 | 代理人： | 孙人鹏 |
| 地址： | 350200 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及掩膜版技术领域，具体为一种具有弹性缓冲结构的掩膜版，包括掩膜版本体，掩膜版本体两侧对称设置两组承接板，承接板上对称设置两组定位销，掩膜版本体上对称内置四组定位孔，定位孔滑动连接定位销，承接板位于具有缓冲功能的框架上，掩膜版本体发生内缩或外扩等变形后，掩膜版本体都会通过承接板使压板移动，压板将沿着导柱移动，并且挤压弹性钢条，弹性钢条受到挤压后，弹性钢条将会变形，弹性钢条两端在滑轮作用下，使弹性钢条两端沿着矩形槽移动，从而使弹性钢条弧形度变大，在弹性钢条的反弹力作用下，使压板通过承接板，对掩膜版本体发生内缩或外扩起到缓冲的作用，从而避免掩膜版本体与承接板之间的焊接处的破裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 弹性 缓冲 结构 掩膜版 | ||
【主权项】：
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