[实用新型]一种大型TFT-LCD光掩膜基版用高精度旋涂机有效
| 申请号： | 202122153149.1 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN215599504U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李由根;李娜;萧训山;刘丹;吴婷 | 申请（专利权）人： | 东莞市宏诚光学制品有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F1/68;G02F1/13 |
| 代理公司： | 东莞卓为知识产权代理事务所(普通合伙) 44429 | 代理人： | 齐海迪 |
| 地址： | 523383 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种大型TFT‑LCD光掩膜基版用高精度旋涂机，包括机架、顶针组件、紧固圈、压块以及电磁力控制装置，顶针组件呈可活动地安装于机架上，电磁力控制装置安装于顶针组件的下方以用于将顶针组件朝机架的下方进行吸拉，压块位于电磁力控制装置的上方并开设有供顶针组件的顶针穿过用的安装孔，紧固圈安装于安装孔内以对位于该紧固圈上方的区域进行密封。本实用新型可以通过紧固圈对顶针进行紧固密封，可以防止相对运动的气流，防止对流现象，以达到涂胶的高均匀性；与此同时，本实用新型还通过电磁力控制装置克服了顶针组件下降力不足的问题，从而改善了以往设备中四个角落处的均匀性较差的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大型 tft lcd 光掩膜基版用 高精度 旋涂机 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市宏诚光学制品有限公司，未经东莞市宏诚光学制品有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122153149.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
