[实用新型]一种带有检测功能的镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202122165818.7 申请日: 2021-09-08
公开(公告)号: CN215481230U 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 苏文校 申请(专利权)人: 东莞市优上纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56
代理公司: 北京化育知识产权代理有限公司 11833 代理人: 尹均利
地址: 523000 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种带有检测功能的镀膜设备,包括支撑密封底座,所述支撑密封底座的外侧固定安装有镀膜腔体,所述镀膜腔体的上端面固定安装有真空抽气盖,所述镀膜腔体中部的外侧固定安装有检测机构,所述检测机构包括取样罐体、导流套环、密封连接环、增温保持环、导流套管和检测座,所述密封连接环的外侧固定安装有导流套环,所述导流套环的内部设置有两个增温保持环,所述导流套环的外侧均匀安装有八个导流套管,所述导流套管一端的外侧安装有取样罐体,所述取样罐体的内部设置有检测座,所述支撑密封底座上端面的中部安装有密封框架。本实用新型通过对镀膜原料蒸发后进行多方位监测,有效保证镀膜质量。
搜索关键词: 一种 带有 检测 功能 镀膜 设备
【主权项】:
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