[实用新型]一种带有检测功能的镀膜设备有效
申请号: | 202122165818.7 | 申请日: | 2021-09-08 |
公开(公告)号: | CN215481230U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 苏文校 | 申请(专利权)人: | 东莞市优上纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带有检测功能的镀膜设备,包括支撑密封底座,所述支撑密封底座的外侧固定安装有镀膜腔体,所述镀膜腔体的上端面固定安装有真空抽气盖,所述镀膜腔体中部的外侧固定安装有检测机构,所述检测机构包括取样罐体、导流套环、密封连接环、增温保持环、导流套管和检测座,所述密封连接环的外侧固定安装有导流套环,所述导流套环的内部设置有两个增温保持环,所述导流套环的外侧均匀安装有八个导流套管,所述导流套管一端的外侧安装有取样罐体,所述取样罐体的内部设置有检测座,所述支撑密封底座上端面的中部安装有密封框架。本实用新型通过对镀膜原料蒸发后进行多方位监测,有效保证镀膜质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 检测 功能 镀膜 设备 | ||
【主权项】:
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