[实用新型]一种用于制备金刚石膜的沉积台

摘要

本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体公开了一种用于制备金刚石膜的沉积台，所述沉积台包括：衬底托，所述衬底托上顶面设置有容纳衬底的衬底卡槽；基座，所述基座为轴对称结构，所述基座包括相互平行设置的圆形上顶面和圆形下底面，所述基座的上顶面中心沿其中心轴方向内凹形成容纳所述衬底托的阻温槽，所述阻温槽内侧壁与所述衬底托外侧壁之间留有一定间隙，所述衬底托、阻温槽、衬底卡槽均为圆柱结构或正棱柱结构，所述衬底托厚度阻温槽深度衬底托厚度+衬底厚度阻温槽深度+2mm。本实用新型结构简单，易于生产制造，降低了生产成本，具有良好的工业应用前景。