[实用新型]一种多腔室化学气相沉积反应室及沉积系统

摘要

本实用新型属于化学气相沉积领域领域，公开了一种多腔室化学气相沉积反应室及沉积系统，所述反应室为石墨板侧壁组成的直棱柱结构，所述反应室的底面为底板，所述反应室内设有垂直并紧挨底板设置的多个石墨隔板，所述石墨隔板将所述反应室分隔成多个小的反应腔室，位于每个所述反应腔室内的底板上均设有喷嘴装置，所述喷嘴装置包括硫化氢或硒化氢蒸汽喷嘴和围绕所述硫化氢或硒化氢蒸汽喷嘴的设置锌蒸汽喷嘴。本实用新型沉积室结构的设计可同时大规模生产硫化锌或硒化锌平板和整流罩，提高沉积室的利用率。喷嘴装置结构的设计可以使沉积室内气流分布均匀，提升生产的平板和整流罩的质量，节约成本。