[实用新型]废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置有效
| 申请号： | 202122185210.0 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN217034511U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 殷晓飞;蔡璐;朱杨杨;董成;刘彬 | 申请（专利权）人： | 常州少伯环保材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H05K3/00 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 孙丽 |
| 地址： | 213133 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种废弃光致抗蚀剂干膜再生利用装置，包括箱体，所述箱体顶部中心位置开设有通孔，所述箱体内侧壁固定连接有电机和两个导轨，所述电机驱动端固定连接有螺纹杆，且螺纹杆贯穿螺纹连接有揭膜装置，两个所述导轨均和揭膜装置贯穿滑动连接，所述箱体顶部固定连接有固定架，所述固定架底壁中心位置固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆伸缩端固定连接有压板，所述固定架底壁固定连接有放置框，所述放置框内设置有电路板。本实用新型中揭膜装置上的热风机将干膜融化，然后通过揭膜装置上的刮板对干膜进行刮除工作，使得光致抗蚀剂干膜能够回收利用。 | ||
| 搜索关键词： | 废弃 光致抗蚀剂干膜 再生 利用 装置 | ||
【主权项】：
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