[实用新型]一种集成电路成膜光学检测结果标记装置有效
| 申请号： | 202122216626.4 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN215727786U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 范圣耀;徐林森 | 申请（专利权）人： | 无锡博功科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;B25H7/04 |
| 代理公司： | 南京品智知识产权代理事务所(普通合伙) 32310 | 代理人： | 杨陈庆 |
| 地址： | 214125 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及的是集成电路光学检测技术领域，尤其涉及一种集成电路成膜光学检测结果标记装置。包括固定底板、节流阀、滑轨气缸、标记笔支撑、标记笔、光源支撑、工业光学相机、工业相机固定板、镜头和光源；所述的光源支撑安装在固定底板一侧，工业相机固定板与固定底板固定连接，工业光学相机安装在工业相机固定板上，工业光学相机下部装有镜头，工业相机的镜头下部外周设置有光源；固定底板另一侧装有节流阀、滑轨气缸，所述的滑轨气缸活塞推杆下部装有标记笔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 光学 检测 结果 标记 装置 | ||
【主权项】：
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