[实用新型]一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉

摘要

本实用新型公开了一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉，包括底座和箱体，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述扩散炉本体内腔的顶部固定连接有壳体，所述扩散炉本体内腔的两侧均固定连接有安装架，所述安装架的一侧固定安装有加热器，所述扩散炉本体内腔的底部固定连接有第一放置架。本实用新型通过第一风机、吸气管、连接口、第一出气管、第二出气管和喷洒头的设置，实现了均匀喷洒的效果，使得太阳能电池片的表面与携带磷源的氮气可以充分的进行反应，大大提高了太阳能电池片的质量，通过密封层、第一密封垫和第二密封垫的设置，防止气体出现泄漏的现象，大大增强了装置整体密封的效果。