[实用新型]一种自校准式密封腔体泄漏检测自动化装置

摘要

本实用新型提供一种自校准式密封腔体泄漏检测自动化装置，包括：密封罐机构，包括气体发生器和密封罐；自动封盖机构，包括密封盖，通过密封盖的水平移动和竖直移动使密封盖设于密封罐上且形成密闭空间；检测气路，包括分气块、真空度传感器、氦检通断阀、NG漏瓶、OK漏瓶和氦检分气块，分气块连接密封罐机构，氦检分气块通过氦检通断阀连接分气块，且NG漏瓶和OK漏瓶设于氦检分气块两侧；真空主泵，包括真空泵；氦检仪机构，包括氦检仪、质谱仪抽气管、氦检真空泵和氦检仪校核漏瓶。本实用新型在检测前对氦检仪机构进行自动校核和数值修正，实现气体发生器的密封泄漏的超高精度检测，并通过自动封盖机构提高检测设备的自动化程度。