[实用新型]一种智能洁净缓存设备有效
| 申请号： | 202122229229.0 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN215933541U | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李占国;王嘉祯;郑杨;成龙;涂炎兵;缪峰 | 申请（专利权）人： | 弥费实业（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 窦雪龙;冯振华 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种智能洁净缓存设备，包括：支架；安装座，具有安装空间并吊设在支架上端；载盘，设置在安装空间内，载盘设置有进气口组和出气口组，进气口组的开口和出气口组的开口均朝向晶圆传送盒；进气管路，设置在载盘下表面，进气管路包括隔膜阀和层流质量流量控制器，隔膜阀入口与气源连通，隔膜阀出口与层流质量流量控制器入口连通，层流质量流量控制器出口与进气口组连通；调节管路，设置在载盘下表面，调节管路包括电磁阀和真空发生器，电磁阀入口与气源连通，电磁阀第一出口与隔膜阀的开度调节口连通，电磁阀第二出口与真空发生器的调节口连通；排气管路，设置在载盘的下表面，排气管路入口端与出气口组连通，排气管路出口端与真空发生器的入口连通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 洁净 缓存 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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