[实用新型]一种籽晶托以及碳化硅单晶生长装置有效
| 申请号： | 202122231217.1 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN216473576U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 姚秋鹏;皮孝东;徐所成;王亚哲;陈鹏磊;程周鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 310000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种籽晶托以及碳化硅单晶生长装置，其中籽晶托设于坩埚口并与坩埚形成密封腔，所述籽晶托贴紧在所述坩埚口的底面上设有籽晶，所述籽晶托远离坩埚口的顶面上设有与籽晶对应的厚度变化面，所述厚度变化面与籽晶托底面之间的间距从中心向边缘逐渐增加。本申请通过设置通过设置厚度变化面，降低籽晶托的径向的温差，保障安装在籽晶托上的籽晶受热均匀，籽晶上面生成的单晶内部应力小，达到实现生成高品质的单晶的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 以及 碳化硅 生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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