[实用新型]一种PERC电池背面多层膜结构

摘要

本实用新型公开了一种PERC电池背面多层膜结构，包括由内向外依次设置在硅片背面的第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层及氮化硅层，所述硅片为p型硅。本实用新型的一种PERC电池背面多层膜，通过在硅片背面设置第一富氢层以提升电池的体钝化效应，并在第一富氢层之后设置第一氧化硅层，用于减少硅片背面由于等离子体的轰击导致的缺陷密度，增加硅片背面的化学钝化的效果，从而提高电池开路电压和短路电流，最终实现PERC太阳能电池的转换效率的提升。