[实用新型]一种硅片制备旋转式酸洗装置有效
| 申请号： | 202122331257.3 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN216174622U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 戴立新;冯立康;方明;戴薇;朱计生;戴劲 | 申请（专利权）人： | 黄山市七七七电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 韩立峰 |
| 地址： | 245000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片制备旋转式酸洗装置，并排设置有多个工位，工位包括盛装箱、部件箱和管道箱，盛装箱的下侧设置有部件箱，盛装箱和部件箱通过分隔板相互分隔，盛装箱和部件箱的一侧设置有管道箱，支撑杆的中部固定连接有第一喷头，第二导管的另一端与第二喷头的一端相连通，分隔板的中部设置有支撑筒，支撑筒的下端固定连接有从动齿轮，部件箱的内部一侧设置有驱动电机，驱动电机的驱动轴端部固定连接有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮相互啮合，转动并推动支撑杆，对第一喷头的角度和位置进行调整，通过多工位的设置，使得装置在同一时间对不同规格、数量众多的硅片进行酸洗，从而极大地提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 制备 旋转 酸洗 装置 | ||
【主权项】：
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