[实用新型]一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置

摘要

一种用于质谱仪器在高真空环境下进出舱取放靶板的装置，包括外设有真空泵的主腔体、波纹管、密封盖板、靶托机构、压管机构、泄压触发机构，波纹管一端套设于主腔体顶部开口内，另一端外露于主腔体，密封盖板用于密封波纹管另一端开口，靶托机构位于波纹管下方用于承托靶板，压管机构用于下压波纹管下端管压口使其与靶托机构紧密贴合；泄压触发机构包括分别设置于靶托机构上和靶托机构退到出舱位置上的一对常开触点，波纹管外露于主腔体一端设有泄压开关，泄压开关连通一泄压口，常开触点闭合触发泄压开关打开。相比现有技术，该装置可实现快速取放样品靶，结构简单、可靠和耐用，安装方便、密封性好。