[实用新型]薄膜加工设备及薄膜偏移修正装置

摘要

一种薄膜加工设备及薄膜偏移修正装置，所述薄膜偏移修正装置能与辊轮组配合传送薄膜。薄膜偏移修正装置包含用于控制气流的进出气的气流调节单元、平移驱动单元、校正辊轮、固定辊轮及偏移侦测器。校正辊轮的表面形成多个连通气流调节单元而能让气流进出作用于薄膜上的校正轮气孔。固定辊轮设置于校正辊轮与辊轮组之间，且表面形成多个连通气流调节单元而能让气流进出作用于薄膜上的固定轮气孔。当偏移侦测器测得薄膜的偏移量大于阈值时，校正辊轮及固定辊轮中至少会由校正辊轮吸附薄膜且连同薄膜沿校正辊轮的轴向平移，让薄膜修正后的偏移量不大于阈值。借此能够在薄膜发生偏移异常状况时，实时性地进行薄膜的偏移修正。