[实用新型]一种钙钛矿器件蒸镀设备有效
| 申请号： | 202122404358.9 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN216192659U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 黄稳;高永喜;胡淳;徐飞;武启飞 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/12;C23C14/14 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 张荣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种钙钛矿器件蒸镀设备，包括蒸镀腔体，所述蒸镀腔体内设有用于对基片进行蒸镀的多个蒸镀机构和用于带动基片经过多个所述蒸镀机构的流转机构，所述流转机构为往复传送机构，所述往复传送机构传送基片往复经过多个所述蒸镀机构。通过将流转机构设置为往复传送机构，流转机构可带动较大尺寸的基片往复扫描式蒸镀，实现大尺寸钙钛矿器件的蒸镀，流转机构可依次传送多片基片经过蒸镀机构进行蒸镀，实现钙钛矿器件的批量蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钙钛矿 器件 设备 | ||
【主权项】：
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