[实用新型]真空大气转换设备有效

专利信息
申请号: 202122407314.1 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN215930496U 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 张建文 申请(专利权)人: 乐金显示光电科技(中国)有限公司
主分类号: F26B25/00 分类号: F26B25/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 廖微
地址: 510530 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开一种真空大气转换设备,包括壳体、真空泵、挡板组件和输送台,真空泵、挡板组件和输送台均设置在壳体内部,真空泵和挡板组件均固定在壳体的内壁上,挡板组件位于真空泵的抽气口正下方且与真空泵的抽气口间隔设置,输送台设置在挡板组件的下方。本实用新型真空大气转换设备在真空泵的抽气口正下方设有挡板组件,挡板组件与真空泵的抽气口间隔设置,不会影响真空泵的正常运行,真空泵长期运行后产生的异物从真空泵中掉落后,会被挡板组件接住,因而能避免异物对输送台上的玻璃基板造成污染,提高玻璃基板的良品率。
搜索关键词: 真空 大气 转换 设备
【主权项】:
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