[实用新型]清洗机槽体溢流结构有效
申请号: | 202122407468.0 | 申请日: | 2021-10-08 |
公开(公告)号: | CN215696308U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 王进;张进元;王永利;胡宏峰 | 申请(专利权)人: | 上海珺竹精密机械有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B3/14;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人: | 周庆佳 |
地址: | 上海市嘉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开清洗机槽体溢流结构,涉及硅片清洗领域。该清洗机槽体溢流结构,进料槽体的侧面依次安装有多组流转槽体,进料槽体和流转槽体的连接处顶部开设有溢流槽,进料槽体的内侧壁上安装有进水管,流转槽体的末端侧面开设有出水槽。该清洗机槽体溢流结构,通过进水管向进料槽体内部进行注水,当进料槽体内部的水注满后,水会通过溢流槽向流转槽体内部流动,同时水在不断注入后会通过出水槽流入到溢流盒内部,并最终通过落水管向外排出然后进行二次流转进入到进水管的内部,保证上层较为清澈的水源能够多次流转循环使用。 | ||
搜索关键词: | 清洗 机槽体 溢流 结构 | ||
【主权项】:
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