[实用新型]晶舟夹取装置和机械手有效
| 申请号： | 202122443656.9 | 申请日： | 2021-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN216189096U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 左国军;申斌;成旭;谈丽文 | 申请（专利权）人： | 创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶舟夹取装置和机械手，涉及半导体制造技术领域。晶舟夹取装置，具体包括安装于丝杆步进电机丝杆上的丝杆螺母，丝杆螺母上设有升降板，升降板上连接有连接板，升降联动轴连接于连接板并与丝杆的侧壁相垂直，两根摆动轴与升降联动轴平行设置且均布于升降联动轴的两侧，两个传动板均套接于升降联动轴上，两个传动板远离升降联动轴的一端分别连接于不同的摆动轴；至少一对夹持组件分别连接于两根摆动轴上，夹持组件包括连接于摆动轴的夹持固定板和与夹持固定板可拆卸连接的环状夹持部。旨在解决现有转轴晶舟夹取机构定位过程复杂，容易出现部分脱钩，导致晶舟固定不稳的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 晶舟夹取 装置 机械手 | ||
【主权项】：
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