[实用新型]吸附组件以及解键合装置

摘要

本申请实施例公开了一种吸附组件以及解键合装置，吸附组件包括支撑件、吸附件以及形变件，吸附件与支撑件连接，且远离支撑件的表面用于吸附晶圆；形变件设置于支撑件与吸附件之间，且与支撑件以及吸附件连接，形变件产生形变使得吸附件产生形变；在对两个键合的晶圆解键合的过程中，利用卡盘固定其中一个晶圆，然后移动支撑件，使得吸附件吸附另一个晶圆远离卡盘的表面，通过吸附件的移动和形变，实现互相键合的两个晶圆解键合，因此通过吸附件吸附晶圆表面，增加晶圆在解键合过程中的受力面积，使得晶圆受力均匀，降低晶圆在解键合过程中产生破裂损坏导致报废的可能性，以提高晶圆的解键合效率。