[实用新型]一种探针型雪崩光电二极管自动测试装置有效
| 申请号： | 202122516824.2 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN216434273U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡红志;于杰;赵强 | 申请（专利权）人： | 滨松光子学商贸（中国）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 广东良马律师事务所 44395 | 代理人： | 李良 |
| 地址： | 100020 北京市朝阳区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种探针型雪崩光电二极管自动测试装置，包括测试柜，所述测试柜内设置有控制板、升降机构和夹具组件，所述升降机构上设置有探针板，夹具组件位于探针板的下方，其上设置有半导体致冷器和温度检测器，所述夹具组件上设置有氮气导管；所述测试柜外部设置有多路切换开关、直流源表、氮气阀门、TEC控制器和测试主机。本实用新型采用夹具组件将多片待测雪崩光电二极管芯片置于测试柜中进行测试，实现了待测雪崩光电二极管芯片的批量测试，有利于提高测试效率，降低人力成本和时间成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 雪崩 光电二极管 自动 测试 装置 | ||
【主权项】：
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