[实用新型]一种电阻炉内部气体环境调节系统有效
| 申请号： | 202122533538.7 | 申请日： | 2021-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN216378482U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王大庆 | 申请（专利权）人： | 成都新源汇博光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 马腾飞 |
| 地址： | 610207 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电阻炉内部气体环境调节系统；包括储气瓶、流量计、充气阀、截止阀和稳压阀；所述储气瓶依次与流量计和充气阀连接，所述充气阀通过进气管路与炉膛贯通连接，所述截止阀通过出气管路与炉膛贯穿连接，截止阀后端与稳压阀连接；通过本方案可以减少因高温下产生的不利气体导致的炉内挥发影响晶体质量，有效的减少晶体散射缺陷，同时保护炉内温场等部件的使用，延长各部件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电阻炉 内部 气体 环境 调节 系统 | ||
【主权项】：
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