[实用新型]一种探针的磨针装置有效
申请号: | 202122544693.9 | 申请日: | 2021-10-21 |
公开(公告)号: | CN215920026U | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 严颖杰;权爱春;周晓磊;林志鑫 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B19/16 | 分类号: | B24B19/16;B24B41/02;B24B41/06 |
代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 黎飞鸿;冯振华 |
地址: | 201306 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请提供了一种探针的磨针装置,属于剖面电阻量测探针的磨针技术领域,具体包括底座和探针安装组件,所述底座上设有外露的研磨台,所述探针安装组件位于所述研磨台上方,所述探针安装组件包括移动组件、探针固定部和探针,所述探针安装于所述探针固定部上,所述移动组件驱动探针固定部靠近和远离所述研磨台。通过本申请的处理方案,在打磨过程中更加方便的观测到磨针时针头的状态和锋利度。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 装置 | ||
【主权项】:
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