[实用新型]基于空间光调制器的大视场激光干涉系统有效
| 申请号： | 202122665909.7 | 申请日： | 2021-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN216387553U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘国强;胡浩;陈力强 | 申请（专利权）人： | 熵智科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518034 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光学成像领域，公开了一种基于空间光调制器的大视场激光干涉系统。所述系统中：原光束经过偏振模块进行强度及偏振方向调整，第一物镜对光束进行聚焦，分光模块对光束进行准直、分光及聚焦，空间光调制器对光束调整相移，偏振分光棱镜将光束分成两束垂直的线偏光，光学4F系统对两束垂直的线偏光进行准直和聚焦，遮极滤光模块对两束准直聚焦光束进行遮极和滤光，经过二向色镜、反射镜反射进入筒镜聚焦，光束会聚在第二物镜焦面上，在样件表面干涉产生结构光条纹激发样件出射荧光，筒镜对荧光聚焦，经过反射镜、二向色镜后在相机上形成预设大视场的超分辨图像。本实用新型结构设计简单，在实现超分辨的同时满足大视场，成像精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 空间 调制器 视场 激光 干涉 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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