[实用新型]具有除边机构的晶圆涂布设备有效
| 申请号： | 202122666663.5 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN216500377U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 王锦山;郑新峰;徐建煌;张恒 | 申请（专利权）人： | 上海德沪涂膜设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02;B05C11/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙) 44398 | 代理人： | 黄贤炬 |
| 地址： | 200000 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型描述一种具有除边机构的晶圆涂布设备，其包括支承晶圆的支承机构、向晶圆供应浆料的供料机构、驱动供料机构的驱动机构、以及对晶圆的边缘进行清除的除边机构，支承机构包括承载晶圆的托盘、以及驱动托盘转动的转动部，供料机构具有容纳浆料的腔室、以及连通于腔室的料口，料口的长度不小于晶圆的直径，驱动机构以使料口沿着规定方向由支承机构的一侧移动到相对的另一侧的方式驱动供料机构，除边机构具有位移部、以及连接于位移部的清除部，位移部驱使清除部抵接于承载在托盘上的晶圆的边缘。根据本实用新型，能够便于对晶圆的边缘进行清除。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 机构 晶圆涂 布设 | ||
【主权项】：
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