[实用新型]晶圆翻转机构的保护装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆翻转机构的保护装置，涉及半导体加工技术领域，所述保护装置包括限位装置，限位装置设置在所述晶圆翻转机构的容纳盒外部，所述容纳盒的内部设置有片盒，片盒的内部设置有晶圆，所述限位装置能够在第一状态和第二状态之间移动，位于第一状态时，所述限位装置能够限制所述片盒滑动，限位装置能够限制所述晶圆离开所述片盒，位于第二状态时，所述片盒可以自由进出所述容纳盒，所述晶圆可自由进出所述片盒。通过设置限位装置，能够限制片盒滑动，限制晶圆从片盒中滑出，进而在容纳盒翻转过程中，能够对片盒和晶圆起到保护作用，防止片盒滑动和晶圆从片盒中滑出，避免了晶圆在翻转过程中发生损坏。