[实用新型]一种切片装置有效
| 申请号： | 202122726405.1 | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN216372856U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 周汉知;李晶 | 申请（专利权）人： | 四川绿然科技集团有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04 |
| 代理公司： | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人： | 吴飞 |
| 地址： | 629000 四川省遂*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种切片装置，包括切片机构，切片机构下侧设有多个限位机构，切片机构设有上顶机构，上顶机构用于晶圆棒下端的支撑以及夹持，并带动晶圆棒在限位机构的导向下向切片机构进给，切片机构用于晶圆盘的切片操作，本实用新型在进行晶圆盘加工时，能够自动且高效地完成晶圆盘的分切操作，分切时采用柔性材料进行分切，避免了金属刀具对晶圆盘的分切质量造成的不良影响，在进行分切时能够自动地进行晶圆棒的上料操作，同时在分切时能对晶圆棒进行限位，从而提高了晶圆棒的分切效果，具有较强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切片 装置 | ||
【主权项】：
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