[实用新型]一种曝光机防尘机构有效
| 申请号： | 202122753090.X | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN216248760U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 郑志忠;李家鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州兴胜科半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州博联知识产权代理有限公司 44663 | 代理人： | 马天鹰 |
| 地址： | 215126 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种曝光机防尘机构，所述曝光机防尘机构包括安装框；滤芯，所述滤芯密封活动安装在所述安装框内；凹槽，所述凹槽开设在所述安装框的底部内壁上，且所述凹槽的内壁与滤芯密封活动连接；固定杆，所述固定杆固定安装在所述滤芯的底部；安装槽，所述安装槽开设在所述凹槽的底部内壁上；卡块，所述卡块固定安装在所述固定杆的底端，且所述卡块与安装槽的内壁活动连接；滑动槽，所述滑动槽开设在所述安装槽的一侧内壁上；锁定块，所述锁定块滑动安装在所述滑动槽内，且所述锁定块与卡块活动连接。本实用新型提供的曝光机防尘机构具有操作简单，便于对滤芯进行清洁，使用方便，提高了清洁效率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 防尘 机构 | ||
【主权项】：
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