[实用新型]一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置有效
申请号: | 202122781943.0 | 申请日: | 2021-11-13 |
公开(公告)号: | CN216864375U | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 张福亮;周里华 | 申请(专利权)人: | 惠磊光电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;F28G3/04 |
代理公司: | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人: | 陆中丹 |
地址: | 201801 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置,具体涉及冷却装置技术领域,包括上端环形冷却箱,所述上端环形冷却箱的下方设置有下端环形冷却箱,所述上端环形冷却箱的上方设置有安装环,所述上端环形冷却箱的两侧固定连接有导向轮,所述安装环固定连接在生长炉隔砖的下端,所述安装环的下端开设有安装槽,所述安装槽内设置有电动辊筒,所述电动辊筒上缠绕有牵引绳,所述牵引绳的一端与导向轮固定连接,所述上端环形冷却箱和下端环形冷却箱之间转动连接有支撑杆,该冷却装置便于上下移动,控制与坩埚之间距离,利于产生晶体生长的大梯度温场,保证晶体生长的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 动态 调整 晶体生长 炉用可 移动 冷却 装置 | ||
【主权项】:
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