[实用新型]一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置有效

专利信息
申请号: 202122781943.0 申请日: 2021-11-13
公开(公告)号: CN216864375U 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 张福亮;周里华 申请(专利权)人: 惠磊光电科技(上海)有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;F28G3/04
代理公司: 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 代理人: 陆中丹
地址: 201801 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种动态调整热场的晶体生长炉用可移动冷却装置,具体涉及冷却装置技术领域,包括上端环形冷却箱,所述上端环形冷却箱的下方设置有下端环形冷却箱,所述上端环形冷却箱的上方设置有安装环,所述上端环形冷却箱的两侧固定连接有导向轮,所述安装环固定连接在生长炉隔砖的下端,所述安装环的下端开设有安装槽,所述安装槽内设置有电动辊筒,所述电动辊筒上缠绕有牵引绳,所述牵引绳的一端与导向轮固定连接,所述上端环形冷却箱和下端环形冷却箱之间转动连接有支撑杆,该冷却装置便于上下移动,控制与坩埚之间距离,利于产生晶体生长的大梯度温场,保证晶体生长的质量。
搜索关键词: 一种 动态 调整 晶体生长 炉用可 移动 冷却 装置
【主权项】:
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